而用较小的前级泵维持，这样做是为了节约功率对罗茨真空泵机组的极限压力的要求，也是选择前级泵的必须考虑的，对极限真空度要求较高达1X103Pa～1X102Pa压力一般选用双级旋片式油封机械泵或双级滑阀机械泵作为前级。罗茨旋片真空机组供应商1、真空炉，一般用双级旋片真空泵加罗茨真空泵组成机组形式，机组代号JZJX...